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產(chǎn)品分類
NextCVD等離子體改性及刻蝕多功能寬密度等離子體國內(nèi)的電感耦合等離子體都是基于中頻13.56MHz的電源發(fā)生器，等離子體密度較低，而且是螺旋管式，主要用于等離子體刻蝕，不適宜用于沉積高質(zhì)量薄膜。
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